废气处理又称废气净化，指的是针对工业场所、工厂车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到国家废气对外排放的标准的工作。

    催化焚烧炉是一种类似热氧化的方式来处理VOC的,它净化有机物是用铂、钯等贵金属催化剂及过渡金属氧化物催化剂来代替火焰,操作温度较热氧化低一半,通常为250℃～500℃。由于温度降低,允许使用标准材料来代替昂贵的特殊材料,大大地降低设备费用和操作费用。与热氧化相似,系统仍可分为间壁式催化焚烧炉和蓄热式催化废气焚烧炉两类热量回收方式。

    间壁式催化焚烧炉(简称为TR0)是在催化床后设一个换热器,该换热器在降低排放气温度的同时,也预热含VOC，有机废气处理,其热回收达60%～75%。该类氧化器早已用于工业过程。

   蓄热催化焚烧炉(简称为RCO)是一种新的催化技术。它具有RTO高效回收能量的特点和催化反应的低温操作及能量有效性的优点,将催化剂置于蓄热材料的顶部,来使净化达到较优,其热回收率高达95%～98%。RCO系统性能的关键是使用专用的催化剂,浸渍在鞍状或是蜂窝状陶瓷上的贵金属或过渡金属催化剂,允许氧化发生在RTO系统温度的一半,既降低了燃料消耗,又降低了设备造价。
    有的国家已经开始使用RCO技术进行有机废气的消除处理,很多RTO设备已开始转变成RCO,这样可以削减操作费用达33%～75%,并增加排放气流量达20%～40%。